Halfgeleiders en elektronica

Printen

Een verlicht beeld van een halfgeleiderchip die over een onderling verbonden printplaat zweeft.

"Be Right" als het gaat om de bewaking en analyse van ultrapure waterkwaliteit

Fabrieken van halfgeleiders en chips moeten water van de hoogste kwaliteit (ultrapuur water of UPW genoemd) gebruiken voor het produceren van microchips, LED's, smartphones, flatscreens en siliciumwafers en nog veel meer.

Ultrapuur water (ook bekend als zeer gezuiverd water of HPW) is water dat vrij is van onzuiverheden en verontreinigingen zoals microben, mineralen en bacteriën. Het water wordt geproduceerd onder strikte specificaties en richtlijnen.

Hoog waterverbruik = hoge kosten, problemen met waterschaarste

Een grote fabriek kan gemakkelijk meer dan 10 miljoen liter ultrapuur water per dag gebruiken in productieprocessen zoals polijsten met water, schoonspoelen, snijden en naslijpen, en natuurlijk de productie van ultrapuur water.

Dit hoge waterverbruik leidt onder meer tot de volgende andere uitdagingen:

Waterbesparing, recycling en hergebruik van water
Kwaliteitsdefecten door vervuiling van spoelen
Verlaging van chemicaliën
Besparingen op energie en operationele kosten
Verwijdering van verontreinigingen (gerelateerd aan giftige materialen en chemicaliën in de afvalwaterlozing)
Houd u aan de nalevingsvoorschriften, met name op het gebied van totaal organische koolstof (TOC) en silica

Krijg het vertrouwen van begin tot eind met Hach

Laat Hach uw waterpartner zijn. Met onze online- en laboratoriumoplossingen met realtime procescontroles kunnen we u helpen de hoge standaard van ultrapuur water die u nodig hebt te garanderen, het gebruik van componenten te optimaliseren, de effectiviteit van uw watercyclus te maximaliseren, de operationele efficiëntie te verhogen, de uitvaltijd van apparatuur te verminderen en meer.

Bekijk voor alle informatie de Engelse brochure voor halfgeleiders en de Engelse selectiegids voor elektronica- en halfgeleiderwatertoepassingen.

Van bronwater, afvalwaterbewaking en -analyse tot ultrapuur water; u kunt vertrouwen op Hach.

Overzicht productieproces halfgeleider

Productie-eenheid voor elektronische componenten: hoofdcomponenten in ultrapuur water en industriële afvalwaterrecyclingsystemen

Leidingwater
Productie van ultrapuur water
Recyclesysteem
Ultrapuur watercircuit
Spoelwater
Chemische mechanische planarisatie
Fabricage
Afvalwaterzuivering
Lozing
Organisch industrieel afvalwater
Voorbehandeld gerecycled water

Processtroomdiagram

Voorbehandeling

Tank voor onbehandeld water

Mediafilter MMF ACF

Deïonisatie (optioneel)

Omgekeerde osmose (Double Pass Common)

Suppletie-installatie

Primair

Ionenuitwisseling

UV-behandeling (185 nm)

Ontgasser (optioneel)

Permeaattank

Tank voor ultrapuur water (optioneel voor ozonisatie)

UV-behandeling (185 nm)

Hexagonaal boornitride, h-BN

Ontgassing (toren of membraan)

Polijstinstallatie

Fabricage

Gebruikspuntfilters

Eindfilters

Polijsting mengbed

Fabricagestroomdiagram

Verbruik ultrapuur watr in productieproces van halfgeleiders

	Siliciumverdunning* (Naslijpen)	SiO ₂-laag vorming	Fotolithografie* (Lithografie)	Etsen*

	Strippen*	Stabilisatie van elektriciteitsstroom	Galvaniseren*	*Diagramlegenda* *Consumptie ultrapuur water en afvalwaterproductie

Symbolenlegenda

Verminder
zoetwaterverbruik
Verminder
lozingsvolume
Verminder
elektriciteitsgebruik
Verminder
brandstofverbruik
Verminder
operationele kosten
Verbeter
productiviteit
Verminder
risico's voor naleving

Aanbevolen toepassingen voor halfgeleiders en elektronica

Influent/onbewerkt water

Het begint allemaal bij de bron. De consistentie en de zuiverheid van uw influent of onbewerkt water is van grote invloed op de kwaliteit van het water dat wordt gebruikt in het productieproces van de halfgeleider. Nu strikte normen en richtlijnen moeten worden nageleefd, is het van cruciaal belang dat fabrieken vanaf het begin beschikken over de juiste watertestsystemen, apparatuur en technologie om aan de voorschriften en productietijd te voldoen.

Door gebruik te maken van nauwkeurige instrumenten met realtime analyses om veranderingen in de kwaliteit van binnenkomend water, de effectiviteit van het filter en microbiologische activiteit te bewaken, kunt u voorop blijven lopen bij mogelijke uitdagingen en een betrouwbaar systeem opzetten dat helpt om de kosten te minimaliseren.

Verminder zoetwaterverbruik

Voorgestelde parameters om te bewaken:

Bekijk de oplossingen van Hach

pHD sc: Digitale pH-sensor - algemene doeleinden

BioTector B7000i online TOC-analyser

BioTector B3500c TOC-analyser

SC1000-controllersensormodule voor maximaal 4 sensoren

3700 digitale inductieve geleidbaarheidssensor

BioTector B7000 TOC/TN/TP-analyser

SC1000-controllerdisplaymodule

3400 digitale geleidbaarheidscontactsensors

8310-geleidbaarheidssensor

SC4500-controller met Prognosys en LAN + mA-uitgang

BioTector B3500ul TOC-analyser

3798-S sc digitale inductieve geleidbaarheidssensor

Een rivierstroom in de bergen die een influentwaterbron vertegenwoordigt.

Productie-/procescontrole

Bij de productie van microchips wordt eerst een substraat monokristallijn silicium gemaakt, waarmee vervolgens schrijven of wafers worden gemaakt. Of het nu gaat om het spoelen of het plaatsen van de afzonderlijke componenten op een schijf of wafer, in elk productiestadium staat zuiverheid centraal.

Alle processen moeten nauwkeurig worden uitgevoerd zonder dat er onzuiverheden aanwezig zijn. In schone ruimten moeten de in de lucht zwevende deeltjes en spoelmiddelen strikt worden gecontroleerd en moeten de spoelmiddelen zo zuiver mogelijk zijn. De kwaliteit van het ultrapure water kan alleen worden gegarandeerd door het gebruik van zeer gevoelige wateranalyses in zo laag mogelijke concentraties.

Verminder operationele kosten
Verbeter productiviteit

Voorgestelde parameters om te bewaken:

Ultrapuur watergeleidbaarheid in combinatie met het certificeringssysteem voor geleidbaarheid (Purecal) van Hach
Ultralage troebelheid
Ultralaag chloorgehalte
Silica
Natrium
Opgeloste zuurstof (BZV)
Opgeloste waterstof
Opgeloste kooldioxide
ATP

Bekijk de oplossingen van Hach

LDO sc-DO-sonde

Solitax sc-sensor voor troebelheid en gesuspendeerde vaste stoffen

SC1000-controllersensormodule voor maximaal 4 sensoren

TU5300sc sc-lasertroebelheidsmeter voor laag bereik

3700 digitale inductieve geleidbaarheidssensor

Orbisphere 3100-draagbare zuurstofanalyser

ORBISPHERE K1100-LDO-sensor

SC1000-controllerdisplaymodule

Benchtop lasertroebelheidsmeter TU5200

3400 digitale geleidbaarheidscontactsensors

SC4500-controller met Prognosys en LAN + mA-uitgang

Orbisphere 312xx Hydrogen Sensor

3798-S sc digitale inductieve geleidbaarheidssensor

Orbisphere 312xx-sensor

Vrouwelijke technicus plaatst printplaat in fabrieksessemblagelijn.

Effluentbehandeling

De eis om het milieu zo min mogelijk te belasten in combinatie met de noodzaak van schone waterbronnen zorgt voor veel beperkingen voor huidige en toekomstige installaties. Effluentmanagement ontwikkelt zich van laboratoriummetingen naar automatische online procescontrole en uiteindelijk naar slimme optimalisatiesystemen.

Prominente en effectieve bewaking helpen bij het verminderen van afval en kosten van installatieprocessen, of het nu om chemische neutralisatie of monstername en slibbehandeling gaat. Reageer in real time op fluctuerende parameters en maximaliseer tegelijkertijd de efficiëntie en minimaliseer overtredingen op systemisch niveau met een continu, betrouwbaar en nauwkeurig wateranalysesysteem.

Verminder lozingsvolume

Voorgestelde parameters om te bewaken:

Troebelheid
Gesuspendeerde vaste stoffen
pH
Fluoride
Aluminium
Fosfaat
Koper
IJzer
Totaal organische koolstof (TOC)

Bekijk de oplossingen van Hach

pHD sc: Digitale pH-sensor - algemene doeleinden

Phosphax sc-fosfaatanalyser

BioTector B7000i online TOC-analyser

Solitax sc-sensor voor troebelheid en gesuspendeerde vaste stoffen

Analoge pH-differentiaalsensor

BioTector B3500c TOC-analyser

SC1000-controllersensormodule voor maximaal 4 sensoren

TU5300sc sc-lasertroebelheidsmeter voor laag bereik

BioTector B7000 TOC/TN/TP-analyser

SC1000-controllerdisplaymodule

Benchtop lasertroebelheidsmeter TU5200

Filtrax eco-monsterfiltratiessystemen

SC4500-controller met Prognosys en LAN + mA-uitgang

BioTector B3500ul TOC-analyser

EZ1031-fosfaatanalyser (methode vanadaat geel) PO₄-P

EZ1001 aluminiumanalyser Al(III)

EZ3007 fluorideanalyser

Kijken door een grote waterleiding die uitmondt in een waterlichaam.

Laboratorium voor QA/QC

De beheersing van productieprocessen met grote volumes kan een uitdaging vormen door de buitensporige hoeveelheden procesgegevens, instrumenten en bewakingsystemen. Het vermijden van abnormale procesomstandigheden, storingen en menselijke fouten is van cruciaal belang voor een optimale kwaliteitscontrole. Als u uw QA/QC-laboratoriumtest combineert met realtime procesmetingen, zorgt u ervoor dat de procesapparatuur gevalideerd blijft en binnen een tolerantievenster blijft.

Inzicht in de beschikbare methoden voor uw specifieke testbehoeften stelt u in staat de juiste beslissingen te nemen ten aanzien van uw fabriek en eindproduct. Laat het giswerk achterwege.

Verminder nalevingsrisico's

Voorgestelde parameters om te bewaken:

Aluminium
Calcium
Chloor
Kleur
Koper
Fluoride
Hardheid/ alkaliteit
IJzer
pH
Fosfaat
Silica
Natrium
Totaal organische koolstof (TOC)
Troebelheid

Bekijk de oplossingen van Hach

SC1000-controllersensormodule voor maximaal 4 sensoren

SC1000-controllerdisplaymodule

SC4500-controller met Prognosys en LAN + mA-uitgang

EZ1001 aluminiumanalyser Al(III)

EZ3007 fluorideanalyser

Een technicus met beschermende handschoenen onderzoekt de troebelheid van het water in een laboratorium.

Hergebruik van water

Vermindering van milieueffecten is een belangrijke reden om het hergebruik van water te optimaliseren. Hergebruik van water, met inbegrip van teruggewonnen en gerecycled water, is een methode die faciliteiten kunnen gebruiken om de duurzaamheid te verbeteren en de waterkwaliteitsnormen te waarborgen door de afhankelijkheid van fabrieken van externe waterbronnen te verminderen.

Nu waterschaarste wereldwijd een ernstig probleem is, is het noodzakelijk de gevolgen van het waterverbruik in het productieproces aan te pakken en na te denken over manieren om het hergebruik van water in de toekomst te optimaliseren en toch kwaliteitsproducten te garanderen.

Het terugwinnen en hergebruiken van het afvalwater van een productieproces vereist altijd een vorm van behandeling, of deze nu elementair of uitgebreid is. Door van begin tot eind parameters te en verbindingen zoals pH, TOC, BOD, COD en TSS te bewaken, zullen behandelaars beter geïnformeerde beslissingen kunnen nemen en over de nodige kennis beschikken om de waterkwaliteit voortdurend te beoordelen en de efficiëntie van het hergebruikproces te verbeteren.

Verminder operationele kosten

Voorgestelde parameters om te bewaken:

Geleidbaarheid ultrapuur water
pH ultrapuur water
Ultralage troebelheid
Ultralaag chloorgehalte
Silica
ATP

Bekijk de oplossingen van Hach

pHD sc: Digitale pH-sensor - algemene doeleinden

Solitax sc-sensor voor troebelheid en gesuspendeerde vaste stoffen

Analoge pH-differentiaalsensor

SC1000-controllersensormodule voor maximaal 4 sensoren

TU5300sc sc-lasertroebelheidsmeter voor laag bereik

3700 digitale inductieve geleidbaarheidssensor

SC1000-controllerdisplaymodule

Benchtop lasertroebelheidsmeter TU5200/a>

3400 digitale geleidbaarheidscontactsensors

8310-geleidbaarheidssensor

SC4500-controller met Prognosys en LAN + mA-uitgang

3798-S sc digitale inductieve geleidbaarheidssensor

Een reeks omgekeerde osmosemembranen in een fabriek.

Stoom en kracht

Bewaking is van cruciaal belang. Onjuist voedingswater, onzuiverheden, defecte condensorbuizen en overmatige lucht zijn slechts enkele van de valkuilen/gevaren die kunnen leiden tot vervuiling van het systeem, storingen, langdurige reparaties en dure onverwachte kosten.

Met tijdige en nauwkeurige metingen kunt u snel problemen vaststellen (corrosie, ijzertransport, vervuiling, etc.) die de productie kunnen aantasten en de levensduur van uw apparatuur kunnen verkorten. Bescherm tegen microbiële groei in koeltorens, corrosie aan leidingen, condensors en drogers na verloop van tijd, en mogelijke lekkage in warmtewisselaars door gebruik te maken van voortdurende, nauwkeurige bewakings- en analysetools.